永久免费a∨片在线观看_久久精品国产一区二区三区不卡_国产精品国产三级国产试看_国产精品欧美一区二区三区

您好!歡迎訪問安徽智微科技有限公司網站!
全國(guo)服(fu)務咨詢熱線:

13951825145

當前位置:首頁 > 產品中心 > 芯片加工設備 > 光刻機 > URE-2000/35型紫外光刻機

URE-2000/35型紫外光刻機

簡要描述:URE-2000/35型紫外光(guang)刻機,采用三柔性支點實現高精度(du)自(zi)動調平(ping);真空(kong)接觸(chu)自(zi)動曝(pu)光(guang);樣片升(sheng)降、調平(ping)、接觸(chu)、曝(pu)光(guang)、復位(wei)實現自(zi)動化控制。

  • 產品型號:
  • 廠商性質(zhi):生產廠家
  • 更新時間(jian):2024-04-09
  • 訪  問  量:3334

詳細介紹

品牌其他品牌價格區間面議
儀器種類微流控芯片系統應用領域醫療衛生,環保,電子

 

產品名稱:URE-2000/35型紫外光刻機
主要(yao)技術指標:
曝光面積:100mm×100mm
分辨力:1um(膠厚1.5μm的正膠)
對準精度:±0.8μm
大膠厚:300μm(SU8膠)
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
樣片尺寸:直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm);
照明均勻性:±4%(Ф100mm 范圍)
汞燈功率:350W(直流)
掩模相對于樣片運動行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
URE-2000/35型紫外光刻機技術特點:
創(chuang)新采用(yong)三柔性支點(dian)實現高(gao)精度(du)(du)自動調平;真空接(jie)觸自動曝光;樣(yang)片升降、調平、接(jie)觸、曝光、復位實現自動化(hua)控制;采用(yong)積木(mu)錯位蠅眼透鏡實現高(gao)均勻照明;可連續設(she)定(ding)分離(li)間隙;采用(yong)雙(shuang)(shuang)目雙(shuang)(shuang)視場顯微鏡實現高(gao)對準精度(du)(du)。整(zheng)機(ji)具有(you)性能(neng)可靠、操作方便、自動化(hua)程度(du)(du)高(gao)等特點(dian)。
 

產品咨詢

留言框

  • 產品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸(shu)入計算結(jie)果(guo)(填(tian)寫阿拉伯數字),如:三加(jia)四=7
安徽智微科技有限公司
地址:安徽省合肥市經開區尚澤大都會A座2214
郵箱:1053185136@qq.com
傳真:
關注我們
歡迎您關注我們的微信公眾號了解更多信息:
歡迎您關注我們的微信公眾號
了解更多信息